柴油发动机尾气排放已成为一个严重的社会问题，国家对柴油发动机尾气排放的氮氧化物（NOx）细颗粒物对空气污染的管制也加强了。为了解决这个问题，DPF（柴油机颗粒过滤器）进入市场。DPF经常暴露在非常高的废气温度下，需要通过加热到450摄氏度定期清洗。 DPF是由挤压制粒的碳化硅化合物制造的，碳化硅具有非常高的稳定性。陶瓷原料（基质）由细颗粒组成，可精确控制颗粒大小分布。碳化硅有湿磨加工和干磨加工的工艺。细川密克朗介绍了一款干燥碳化硅的干燥系统DMR-H。